到達煙氣CEMS比對監測現場后，首先應該對現場安裝的CEMS儀器的運行情況和運行狀態進行檢查；以確認CEMS是在正常、穩定(非故障)的狀態下運行，從而保證CEMS比對監測結果有效。

主要的檢查內容包括以下幾項：

 ① 檢查CEMS儀器整體運行狀態。采樣(伴熱溫度)、預處理(冷凝溫度)、分析測試(流量)、數據顯示、存儲記錄、數據傳輸以及尾氣和冷凝水的排放等，尤其注意數據存儲記錄(存儲記錄分鐘數值)。

 ②查看CEMS儀器操作軟件的相關設置，以管理員權限登錄CEMS操作軟件，查看相關設置。系統參數設置，包括測試對象的檢測量程、污染源排放口的相關參數(煙囪直徑、煙道尺寸截面積)、時鐘設置等；過程參數設置，包括標準過剩空氣系數、各測試對象的校正系數(顆粒物相關曲線(斜率、截距)、流速速度場系數等其他的測試數據校正參數(調節因子)、濕度設置(手工輸入)、各種數據狀態的轉換公式設置以及不同顯示單位設置等。

 ③查看現場CEMS運營維護、維修、校準記錄，系統以往的運行狀態、故障出現和排除情況、系統的定期校準情況。

 ④檢查CEMS運行現場環境條件檢查，分析小屋環境、煙囪或煙道排放口位置和規范化情況、比對測試操作平臺、爬梯以及護欄情況、手工參比測試的規范操作環境等。

 通過CEMS比對前的現場觀察和檢查，確認CEMS運行不正常時應暫停比對監測工作，待相關運營單位對其維護、校準甚至維修并運行正常后再考慮開展比對監測。另外，了解更多的現場CEMS的相關參數設定以及現場維護等情況資料則更有助于將來對CEMS比對監測數據的綜合匯總分析和比對監測結果的總體判定。