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光散射法的顆粒物監測儀由于其較低的檢測能力目前在國內應用最為廣泛，尤其是后向閃射法的儀器利用其安裝使用簡便等優勢在污染源顆粒物除塵設備后應用較多，但該技術同樣也存在一定的缺陷和不足。

 例如后向散射法的儀器盡管安裝使用方便，但在三種散射法中是檢測限最高的，一般檢測無低于30mg/m3，這種原理監測已經比較困難；前向散射法和邊向散射法的儀器盡管檢測靈敏度進一步提高，但其受到安裝使用條件要求高、深入煙道探桿長度有限等問題的困擾。

 另外，光散射法的儀器與管透射法的儀器同樣易受到水汽的影響和干擾，一方面測量鏡頭容易被水汽或顆粒物污染需要必要的氣幕保護；另一方面如果煙道內出現保護液態水滴將大大影響和干擾光學法的測量結果。

因此，在比較惡劣的環境條件下應增加對光散射法顆粒物監測儀器的維護頻次，保證其在污染源現場穩定可靠運行。