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 高溫煙氣濕度儀是用于煙氣濕度在線監測也就是煙氣含水量在線監測的常用設備。煙氣在線監測系統常使用高溫煙氣濕度儀作為煙氣濕度的監測設備。

 煙氣含水分量在線測量的難度主要是被測煙氣介質的溫度較高(80～150℃)，煙氣含塵量較大(50～200mg/m3)、腐蝕性強(煙氣中SO2與水形成亞硫酸)、含水分量大(煙氣含水分量約為體積分數5%～15%)，一般的濕度傳感器不耐腐蝕，不能用于煙氣含水量檢測。目前國內外已經開發出耐腐蝕的濕度傳感器技術。