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 固定污染源排放廢氣VOCs內通常伴隨著大量的以氣態方式存在的水分，這些水分不僅會造成樣品在采集和從傳輸過程中的損失，更對測量造成嚴重的影響。這時就要對廢氣中的水分進行處理。

通常VOCs在線監測系統處理被測氣體中的水分有以下三種方式：

1.氣態脫水技術：

 保證水分在氣態的狀態下從被測的VOCs中分離出去，這樣在去除水分的同時不丟失VOCs的組成成分，最大限度的保留了打車氣體的組成含量。這種技術常用于噴涂等排放廢氣濕度較大的行業。

2.全程高溫采樣進樣技術：

 全程加熱采和監測能明顯減少被測氣體中水分的冷凝，防止樣品依附于管道。從采樣探頭經樣品傳輸管線，到儀器內部的進樣流路，以及流路的切換閥、采樣泵和檢測器，全程采用高溫（120℃~180℃）進行伴熱，放置樣品冷凝流失。這種技術常用于石油化工等行業。

 通常使用經嚴格處理的干態零器對樣品進行50~200稀釋比的稀釋，大大減少樣品中的水分含量，削弱水分的干擾和影響。這種技術常用于電子行業等排放VOCs濃度較高的行業。