冷干法CEMS樣品處理系統由取樣探頭、樣品輸送管線、冷凝除濕器、排水裝置、除塵裝置及抽氣泵等部件組成，冷干法CEMS樣品處理系統對每一個組成部分都有相對應的技術要求。

1.取樣探頭：

 采用加熱過濾形式，探頭應加熱保溫，探頭溫度控制范圍0~180℃，探頭內置粗過濾器，材質選用陶瓷過濾器或不銹鋼燒結過濾器作為對煙氣的粗過濾。過濾器外部采用電加熱恒溫控制且可調節。探頭的反吹采用自動反吹，反吹柜設置在探頭箱附近。

2.樣品傳輸管線：

 采用電加熱一體式管線，，直接送到分析柜的冷凝除濕器的入口，要求全程加熱保溫。例如保溫為110~120℃，以確保樣品在傳輸過程中樣品溫度不低于露點溫度，傳輸全過程不冷凝。

3.冷凝除濕器：

按照樣品含水量的大多少，采用一級或二級除濕，一級除濕多采用電子制冷器除濕，二級除濕多采用壓縮機制冷器除濕。冷凝除濕的溫度一般設置在2~5℃。一般冷凝器的位置設置在相對于氣路高度較低的位置，保證冷凝水能夠直接順利的排出，避免留存。

4.排水裝置：

 在預處理系統中，需要在采樣泵前排水時，由于泵前是負壓，則需要使用蠕動泵。當需要在采樣泵后排水時，由于泵后為正壓，使用蠕動泵排水、電磁閥自動排水、手動排水等方式均可。

5.樣品除塵：

 按照含塵量多少進行一級除塵或多級除塵，一般情況下，采樣探頭內設前級過濾器，在分析儀前設膜過濾器，實現細過濾和濾除樣品中的霧酸滴。

6.抽氣泵：

 通常煙道氣的壓力是負壓或者微正壓，系統需要煙氣壓力選取合適取樣泵抽取樣氣，冷干法CEMS取樣泵多數采用隔膜泵，需要耐腐蝕，抽氣性能強，滿足分析系統對樣氣的流量要求。通常設置在除濕器后或兩除濕器之間，流量設定為3-5L/min。