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熱濕法煙氣在線監測系統通常由高溫型取樣系統、高溫型測量系統及分析機柜等組成。高溫型取樣系統包括帶加熱過濾器的高溫取樣探頭、高溫條件下運行的測量、反吹、校準閥件和電伴熱煙氣傳輸管線和反吹管線等。
高溫測量系統現在使用的檢測系統有兩種：一種是在分析儀前使用抽取泵，將高溫型抽取泵、連接管道和高溫分析儀器的傳感器氣室等安裝在一個恒溫柜中；另一種在分析儀后設置射流泵，通過分析儀來抽取樣氣。
熱濕法煙氣在線監測系統樣品分析流程設計時應考慮分析儀的工作特性，確定所需的氣量、加熱溫度等因素。
在用于煙氣中含有HCL、HF、NH3等微量檢測時，要特別注意連接管道管壁的吸附性，即使采用PTFE材料的氣路對HCL、HF、NH3仍有吸附。
為防止灰塵在探頭處沉降、聚集，而將采樣探頭及過濾器堵塞，將經過緩沖的壓縮空氣引入進行大流量吹掃，可增加壓縮空氣程控反吹的設計，將過濾器和采樣探頭中停留的灰塵全部吹回煙道中。探頭疏堵自動完成，維護量大幅減少、管道阻力平穩，可提高測量數據的精確度和保持穩定的系統快速響應。
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