檢測濃度指標一般是指不含水分的“干氣”中的含量，而經過預處理后的氣體中水分不可能完全除掉，仍將占有一定的比例。煙氣在線監測系統的預處理系統承擔著除塵、除水和溫度、壓力、流量調節等任務，處理后應使樣品滿足煙氣在線監測系統長期穩定運行的要求，樣品的溫度、壓力、流量恒定。當樣氣中含水量較大時，主要危害有以下幾點：

樣氣中存在水分會吸收紅外輻射，從而給測量造成干擾；

當水分冷凝在晶片上時會產生較大的測量誤差；

水分存在會增強樣氣中腐蝕性組分的腐蝕作用；

樣氣除水后可能造成樣氣的組分發生變化。

 隨著預處理運行狀況的變化，環境溫度、壓力的變化，氣樣中水含量也隨著變化，一些極性較強的組分(如CO2、SO2、NO等)隨著水溫、氣樣壓力及水氣接觸時間長短的不同而有不同的溶解度。為了降低樣氣含水的危害，在樣氣進入儀器之前應先通過冷卻器降溫除水(最好降至5℃以下)，降低其露點，然后伴熱保溫，使其溫度升高至40℃左右，送到分析儀進行分析。

 有時也采用干燥劑(如硅膠、分子篩、氯化鈣或五氧化二磷)對低濕樣品進行處理，但應慎重，因為干燥劑往往同時吸附其他組分，吸附量又易受環境溫度壓力變化的影響，弄不好反而會增大附加誤差。