煙氣濕度儀在出廠時必須經過校準，通常采用標準濕度發生器進行比對，標準濕度發生器采用高精度的露點標定。

 眾所周知，煙氣露點與含水分量的體積分數也有對應關系（可查常用濕度單位換算表），例如，測量的氣體露點20℃，相當于2.31%（體積分數）含水量，氣體露點60℃，相當于水分20%（體積分數）含水量。

 煙氣水分儀在現場調試中也必須進行校準，采用標準規定的參比方法與儀器檢測同步進行，參比方法采用手工測量方法，可選用重量法、冷凝法、干濕球法中的任一種方法測定。

 通常在檢測時，每天至少獲得5個數據對，連續三天，將參比方法測定斷面的平均值減去儀器顯示的煙氣水分值，計算煙氣水分儀檢測的絕對誤差或相對誤差。

 也可以在現場用一個穩定的標準濕度發生器提供所需的濕度、并采用一臺便攜式水分儀精確測定其露點，在對煙氣水分儀進行校準。要求用于露點校準的儀器必須經過國家認可的實驗室校準。