煙氣在線監測系統的樣品取樣處理的特有誤差是指在煙氣在線監測系統樣品處理過程中，樣品的組成或含量可能會發生變化，這些變化影響到測量結果，該影響可以通過計算、補償或適當的校準得到修正或降低。

1.體積效應誤差

 體積效應又稱富集效應，是指由于樣品流在樣品處理時被出去的一部分，單只樣品流被測組分濃度升高的效應。例如冷干法煙氣在線監測系統，樣品處理系統的除濕功能是從含水分的煙氣中除去水分。脫硫后凈煙氣的含水量達到15%~20%，垃圾焚燒電廠的含水量甚至達到40%以上，系統除濕后，原有煙氣中各組分的體積分量會發生變化。樣品中氣態水的體積分量去除后會導致煙氣中其他被測組分的濃度升高，從而帶來系統分析誤差。

 在線分析儀測得的被測組分濃度，在取樣點處被測組分的濃度之間的誤差，稱為體積誤差（又稱富集誤差）。體積誤差通常可以通過計算修正，例如冷干法煙氣在線監測系統出事后帶來的體積誤差，受系統除濕效率影響，除濕效果是定值，則為系統的固有誤差，可以通過分析系統的計算或在線標定消除。

2.轉換器效率誤差

 轉換器是指改變流體中的一個或多個組分的化學成分的裝置。轉換器可以將樣品中的障礙組分或干擾組分轉換成不相干組分，或將待測組分轉化為可測量組分。

由轉換器產生的實際摩爾濃度與被轉換的理想最大摩爾濃度之比稱為轉換器效率。

 例如氮氧化物轉化爐，將樣品中的二氧化氮轉化為一氧化氮檢測，其轉化效率的高低將影響測量結果，帶來轉換誤差。通常轉換器的轉化效率在95%左右，并受到轉化爐溫度、催化劑的效率等因素影響，特別是催化劑接近失效時會產生明顯的誤差影響，因此在使用中要監測轉換器的效率及影響，但這又是十分困難的。

 轉換器誤差受轉換器效率的影響，如轉換器效率是定值，則為系統的固有誤差，可以通過分析系統的校正消除。

3.其它誤差

 樣品取樣處理系統的特有誤差還包括吸收或吸附誤差，以及稀釋法探頭產生的樣品稀釋誤差。例如，煙氣二氧化硫在樣品冷凝除濕過程中，由于樣氣與冷凝水的接觸產生吸附帶來的誤差。樣品器在傳輸管道及其他部件中可能產生的管道吸附帶來的誤差等。